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X射线光电子能谱仪

仪器名称X射线光电子能谱仪
型号Axis Supra
生产厂家日本岛津
主要性能1.定性:X射线光电子能谱(XPS)可以定性检测元素周期表中除H和He以外的几乎所有元素种类及价态信息
2.定量:属于半定量,表面灵敏型测试深度小于10纳米
3.成像:元素XPS二维成像,200-800微米范围。
主要指标1. Al/Ag单色化双阳极XPS,功率:600W;分析面积:Φ15μm—700 um x300um; Al Ka X射线:能量分辨率0.48eV(Ag 3d5/2); Ag Ka X射线:能量分辨率0.9eV(Ag 3d5/2)
2. Al /Mg 非单色化双阳极XPS,功率:450W,能量分辨率0.8eV(Ag 3d5/2)
3. XPS成像空间分辨率3μm
4. He灯紫外光电子能谱UPS,能量分辨:Ag费米边(20%~80%)优于120meV;灵敏度:Ag4d峰优于1Mcps
5. 多模式(Ar/Ar团簇)离子枪:500eV—5keV连续可调(Ar),1keV—20keV连续可调(Ar团簇)
主要附件
可测定样品1.用于测量表面化学组成及化学态
2.深度剖析
3.微区定性及半定量分析
4.表面化学图像
使用注意事项

样品要求:

a.样品:少量干燥的粉末样品,小面积或固体

b.不含腐蚀性(酸处理后残留)、易挥发性(有异味)、磁性及放射性物质

c.样品要求真空干燥,样品用酸处理过要洗净、不能有气味

d.表面元素检测限约为0.1%~1.0%(原子比)

e.固体样品面积≤1.0cm2, 高(厚)度≤3.0mm
存放地点


分析测试中心104室

 

负责人黄天为
联系电话0931-89102284,13893408662
EmailHuangtw@lzu.edu.cn

 

 

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