| 仪器名称 | 成像型椭圆偏振光谱仪 |
| 型号 | EP3 |
| 生产厂家 | Nanofilm |
| 主要性能 | 椭圆偏振显微实时成像分析技术是在传统的消光（null）和离消光（off-null）椭圆偏振法基础上，结合数字处理技术发展出来的、旨在实时获取纳米尺度结构的表面或界面信息和纪录快速动力学过程的测量和显示技术。 |
| 通过把椭圆偏振法与显微镜法相结合，椭偏光学成相系统保留了传统椭偏法对厚度测量具有高灵敏度的优点，并且具有测量面积大、取样速度快、横向分辨率高和结果直观等优点。其平面精度已经能够达到1?m，立体精度已提高到0.1nm，为其进入到生物分析和微电子等新的研究区域提供了可能。 | |
| 该技术还可为医院、诊所提供常规的疾病诊断工具，并将对分子生物学、医学、免疫学、生物构造工程、纳米技术、微电子工业和光通讯等领域的研究及发展起到重大推动作用。该技术不仅能够大面积精确显示超薄膜的厚度分布，而且能够用于生物分子表面的吸附以及分子间的相互作用过程的实时观察。 | |
| 主要指标 | 1) 光学模式：消光椭偏仪 |
| 2) 检偏精度：0.001deg (Delta and Psi)absolute accuracy 0.01deg | |
| 3) 测厚相对误差：≥0.001 nm(SiO2 on Si) | |
| 4) 成像系统：带高精度增强型CCD及光电感应模块CCD camera with 768 × 572 pixels | |
| 5) 成像精度：≥1um | |
| 6) 光源：包括激光模块和光谱模块。激光模块为红宝石固体激光光源，532nm/20mw。光谱模块:wavelengths: 365 to 1000 nm；bandwidth: ± 6 nm。 | |
| 7) 自动测角仪：角度范围40-90deg;分辨率0.001deg;绝对精度0.01deg。 | |
| 8) 软件：WINDOWS界面操作；多区域成像及数据分析；常用光学常数库；实时2维图及3维图模拟，自动角度控制，光源切换，程序控制等等 | |
| 主要附件 | 流动液体池，电化学SPR模块，LB槽等附件。其中SPR结合椭偏成像技术作动力学分析，精度约9pg/mm2 |
| 可测定样品 | 可用于有机薄膜，聚合物，各向异性薄膜，光学涂层，磁性膜等的膜厚、折射率和吸附测量 |
| 使用注意事项 | 1. 测量前要按照先开硬件再开软件的原则开机，以免造成开机后的软件报错； |
| 2. 测量过程中要防止眼睛直视激光，以免造成人身伤害； | |
| 3. 测量过程中对样品务必轻拿轻放，防止其碰到镜头； | |
| 4. 测量完成后关机，关机顺序与开机相反，为先软件后硬件的原则。 | |
| 存放地点 | 第二化学楼209 |
| 负责人 | 胡国文 |
| 负责人联系电话 | 13893308223 |
| 负责人Email | hugw@lzu.edu.cn |
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